一种可控测量力的大量程激光干涉位移传感器

摘要：

利用音圈电机控制测量过程中测量力的方法,提出了一种可控测量力的激光干涉位移传感器,介绍了传感器的结构及其测量原理.通过对测杆的受力情况进行分析可知,改变音圈电机的驱动电流可以很好地控制触针作用于样品表面测量力大小.分析测杆的运动模型,得出测杆转动会带来水平测量误差,提出了相应的误差补偿方法.使用该传感器对倾斜放置的样品进行了测量,结果表明,该传感器在大量程范围内能实现高精度的表面形貌测量,并有效的控制测量力,减小对测量表面的划伤.

关键词：计量学、位移传感器、可控测量力、音圈电机、迈克尔逊干涉、误差补偿

所属期刊栏目：31

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50927502;华中科技大学自主创新研究基金Q2009011

在线出版日期：2012-02-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：161-164