2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统

摘要：

阐述了2m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准.最后对2m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10nm(1σ).

关键词：计量学、比长仪、动态校准、位移传感器

所属期刊栏目：31

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2012-02-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：107-111