利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究

摘要：

提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法,对3种类型的10台电镜进行了比对实验.实验数据溯源于国家长度基准.比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象.实验结果表明, 有8台扫描电镜的标尺的准确度在5%的范围内与标准值符合, 其余2台在6.5%的范围内与标准值符合.

关键词：计量学、扫描电子显微镜、纳米光栅、线距标准装置、一维光栅、长度基准

所属期刊栏目：31

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2011-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：299-302