步距规校准装置

摘要：

利用坐标测量机和激光干涉仪的信号合成技术,构成步距规校准装置,实现多示值标准器的高精度校准.介绍了仪器的构成、原理、软件框图等,并进行了详细的不确定度分析.

关键词：计量学、校准装置、步距规、坐标测量机、激光干涉仪

所属期刊栏目：30

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：160-163