平衡式干涉仪的光学系统设计

摘要：

介绍了两种平衡式干涉仪的光学系统设计方法,分别给出了用于单端测量和双端测量的具体设计方案.由于采用的平衡式光学系统中测量光束和参考光束具有近似相等的光程长度和相似的路径,其光程差仅由被测件的长度或被测表面与测量参考镜之间的距离而引起,因此干涉仪具有很高的稳定性.用双端测量双光程平衡式干涉仪对准零长度试样进行测量,在185 h测量中所得数据的标准偏差为2.1 nm.

关键词：计量学、干涉仪、平衡式光学系统设计、微位移测量

所属期刊栏目：30

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4