根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨

摘要：

从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用.结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技术测量D0变化进而探测空气层厚度细微变化(0.02 μm)的可行性,并由此提出机器视觉运用于干涉计量领域应解决的通用性问题.

关键词：计量学、平晶、平面度、等倾干涉、标准干涉环、机器视觉

所属期刊栏目：29

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家质量监督检验检疫总局科技项目2005QK73

在线出版日期：2008-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：305-308