非同步采样法的光栅纳米测量

摘要：

光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数.基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅信号采样精度,选用市场上货源丰富的、低成本的扫描式多通道模数转换卡,即可实现光栅纳米测量所需的高倍数细分.在测量的启停时刻对光栅信号进行精确测量,在测量过程中对光栅信号进行快速跟踪测量.实验表明,当采用15位200 kHz的A/D转换卡对20 μm栅距的光栅信号进行非同步采样时,可以得到小于1 nm的测量分辨率及大于120 mm/s的测量速度.

关键词：计量学、光栅纳米测量、非同步采样、数据处理、分辨率

所属期刊栏目：29

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50775063;国家自然科学基金重大国际合作项目50420120134;"现代测试与制造质量"安徽省高等学校省级重点试验室资助项目;合肥工业大学研究生科技创新基金

在线出版日期：2008-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：293-296