超精密定位的模糊神经网络控制

摘要：

利用激光莫尔技术设计了一种超精密定位装置,系统以工业控制计算机为核心,通过光、机、电的有机结合,可实现高精度位置检测及精密自动定位.针对系统存在非线性,精确控制模型难以建立的缺陷,将模糊神经网络应用于该控制系统中,给出了模糊推理BP网络模型,改造后的模糊控制系统具有了知识自动获取功能,能更好地适应工况环境.实验结果表明使用模糊神经网络控制,控制响应快、稳定性好、鲁棒性强.系统取得了亚微米级的定位精度,对超精密加工具有实用价值.

关键词：计量学、超精密定位、莫尔技术、模糊神经网络控制器、智能控制

所属期刊栏目：27

分类号：TB92(计量学)

资助基金：江苏省高校自然科学基金04KJB510073

在线出版日期：2006-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：113-116