纳米、亚微米标准样板及SPM量值溯源

摘要：

微电子及纳米技术的发展,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高.文中就建立这一量值溯源体系进行探讨,包括:样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等,表明了建立纳米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性.

关键词：计量学、纳米、亚微米、溯源系统、标准样板、扫描探针显微镜

所属期刊栏目：24

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金59735120

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：81-84