超光滑表面三维微观轮廓检测的研究

摘要：

利用干涉共模抑制和光电信号共模抑制技术,辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术,可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓.本文论述了上述测量系统的原理、结构和误差分析,并讨论了关于三维微观轮廓的定义问题.

关键词：三维轮廓、共模抑制、二维扫描

所属期刊栏目：21

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：178-182