表面形貌焦点跟踪测量方法的研究

摘要：

介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器,该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其垂直测量范围为500μm,最高分辨率为3nm.文中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用.

关键词：表面形貌、非接触测量、聚焦探测、伺服控制

所属期刊栏目：21

分类号：TB92(计量学)

资助基金：中国科学院资助项目59575083

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：173-177