集成电路光刻机精密运动台控制方法综述

摘要：

集成电路的持续发展推动了信息技术的进步.步进扫描式光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备.其中,精密运动台是光刻机最为核心的子系统之一,高速、高加速和高精度的要求对控制方法的研究和应用提出了挑战.文中对集成电路光刻机中精密运动台的控制方法进行了综述.首先,介绍了面向光刻机工件台或掩模台单一运动台的前馈反馈复合控制方法;其次,介绍了工件台和掩模台的同步控制方法;最后,介绍了运动台的主动减振控制方法.

关键词：光刻机、迭代学习控制、扰动观测器、同步控制、主动减振控制

所属期刊栏目：43

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项2017ZX02101007

在线出版日期：2022-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：419-427