喷墨打印技术制备氧化物薄膜晶体管

摘要：

回顾了氧化物薄膜晶体管的优势及其发展应用,介绍氧化物墨水的类型选择、喷墨打印制备过程、薄膜图案退火等工艺过程,以及相关工艺国内外研究情况.总结了喷墨打印技术制备薄膜晶体管工艺的优势.

关键词：氧化物薄膜晶体管、喷墨打印、氧化物墨水、退火处理

所属期刊栏目：40

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：吉林省教育厅"十三五"科学技术项目JJKH20180589KJ

在线出版日期：2020-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：306-312