压电粘滑驱动器研究现状与进展分析

摘要：

基于粘滑驱动原理的压电驱动器因具有精度高 、行程大和无电磁干扰等特点,在精密/超精密加工 、精密科学仪器等方面得到了广泛应用.首先介绍了压电粘滑驱动器的工作原理,然后从驱动器的新构型设计 、激励波形优化设计 、理论建模分析和控制方法研究等四个方面对压电粘滑驱动器的研究现状进行了论述.特别是针对当前压电粘滑驱动器普遍存在的位移回退这一共性问题,分析了位移回退现象产生的机理,着重介绍了近年来关于位移回退抑制相关研究工作的最新进展.

关键词：压电驱动器、粘滑驱动、摩擦力、位移回退

所属期刊栏目：39

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：吉林省科技发展计划项目20160204054GX;吉林省教育厅"十三五"产业化培育规划项目JJK H20181037KJ

在线出版日期：2018-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：321-331