PDMS压电微泵设计与实验

摘要：

以固态聚二甲基硅氧烷（PDM S ）为泵体材料，设计了压电振子的支承方式，采用双腔串联结构，由PDM S双腔串联压电泵驱动。分别用蒸馏水、柠檬酸钠溶液、氯金酸溶液3种流体测试了PD M S压电微泵的工作性能，证明该电泵不仅能够输送低粘度液体（如水），对于粘度较高的流体（如一些化学反应溶液）也具有较好的输送性能。

关键词：微流体反应器、PDMS、双腔串联、压电泵

所属期刊栏目：37

分类号：TP3941;TH6919(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51375207

在线出版日期：2016-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：105-109