一种全息光栅曝光系统结构

摘要：

采用双透镜组的结构引入补偿镜，使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析，结果表明，该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。

关键词：全息光栅、波前质量、模态分析、稳定性

分类号：O438.1(光学)

资助基金：吉林省科技发展计划项目20126012；吉林省科技厅青年科研基金项目20100127

在线出版日期：2015-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：639-644