大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究

摘要：

以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中.在520 mm×520 mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6％降低至±0.96％,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求.

关键词：镀膜机、中阶梯光栅、膜层均匀性

所属期刊栏目：34

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：国家重大科研装备研制基金资助项目ZBY2008-1;吉林省重大科技攻关基金资助项目09ZDGG005

在线出版日期：2013-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：195-199