PDMS微流控芯片加工技术研究

摘要：

对PDMS微流控芯片的制作流程、封装方法和结构特征进行了探讨,并提出了相应的解决方案.

关键词：微流控芯片、聚二甲基硅氧烷、微加工

所属期刊栏目：34

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：172-179