超精密研抛机床设计

摘要：

采用一种新的复杂光学曲面研抛方法，设计了一种可以实现研抛工具与工件之间相对位姿主动调整，并能高效、低成本加工创成非球面及自由曲面零件的超精密研抛机床。通过有限元分析软件ANSYS对机床进行了静力分析和模态分析，验证了所设计的机床结构合理。

关键词：研抛机床、复杂光学曲面、气浮转台、精密摆台

所属期刊栏目：33

分类号：TH164

资助基金：吉林省科技发展计划基金资助项目20080352

在线出版日期：2012-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：292-297