压电式微位移补偿机构

摘要：

设计了一种压电式微位移补偿机构,采用压电陶瓷作为微位移驱动器,柔性铰链为导向机构,对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿,实现了工作台二次精密定位,提高工作台的定位精度.设计的柔性铰链微位移放大器,可使工作台定位精度达0.01 μm,满足许多精密、超精密加工场合需要.

关键词：压电陶瓷微位移器件、柔性铰链、精密定位

所属期刊栏目：25

分类号：TH82

在线出版日期：2004-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40