微电子领域磁悬浮进给机构设计

摘要：

设计了一种集磁悬浮技术和线性驱动技术为一体的微电子设备用进给机构.此机构采用直线同步电机,对悬浮的平台进给机构提供驱动力,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向.文中对磁悬浮平台进给机构产生的悬浮力和直线电机产生的推力进行了分析计算.此进给机构具有响应速度快、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要.

关键词：线性驱动、磁悬浮技术、进给机构、直线同步电机、数字PID控制

所属期刊栏目：24

分类号：TH166

资助基金：吉林省科技厅科研项目吉科合字第20020621号

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：65-68