金刚石对顶砧封垫材料显微激光打孔机设计

摘要：

基于激光打孔原理,根据金刚石对顶砧金属封垫材料的孔型及尺寸要求,设计开发适用于金刚石对顶砧金属封垫材料的精密显微激光打孔装置.实验结果表明,该装置系统可满足金刚石对顶砧金属封垫材料微米尺度圆孔的激光打孔要求.

关键词：激光打孔;金刚石对顶砧;金属封垫材料;微米加工

所属期刊栏目：59

分类号：O521(高压与高温物理学)

资助基金：吉林省自然科学基金批准号:20180101279JC

在线出版日期：2021-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1551-1555