不同Co底层厚度对FeCo(001)取向的影响

摘要：

用磁控溅射法在Si(100)基片上沉积不同厚度的Co底层,在Co层上先用溶胶-凝胶(sol-gel)法旋涂原始溶液,再经H 2还原获得FeCo/SiO 2薄膜,并用X射线衍射仪测试样品的晶体结构,由振动样品磁强计(VSM)表征薄膜的磁性质.结果表明:随着Co底层厚度的增大,FeCo的晶面取向由(110)逐渐转变为(200);当Co底层厚度为10 nm时,I(200)/I(110)值最大,即FeCo(200)择优取向最强,同时薄膜平行膜面的饱和磁化强度最大,矫顽力最小,即Co厚度增加有利于改善薄膜的软磁特性.

关键词：FeCo/SiO2复合薄膜、溶胶-凝胶旋涂、磁控溅射、结构、磁性

所属期刊栏目：55

分类号：O482.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金21371071

在线出版日期：2017-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1587-1590