溶胶-凝胶法ZnO薄膜的制备及性能表征

摘要：

采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜,X射线衍射(XRD)结果表明:晶粒尺寸随退火温度的升高而增大,与原子力显微镜( AFM)分析薄膜表面形貌的结果相符；UV-Vis吸收谱线表明,在ZnO带边吸收的位置出现较强的吸收,并得到600℃退火处理的薄膜禁带宽度为3.23 eV;室温光致发光谱表明,所有薄膜均在386.5 nm处出现一个紫外发射峰,当退火温度升高时,深能级发射受到抑制.

关键词：溶胶-凝胶法、ZnO薄膜、光学性能

所属期刊栏目：50

分类号：TN814(无线电设备、电信设备)

资助基金：吉林省科技厅发展计划项目201101103;内蒙古自然科学基金2010MS0105

在线出版日期：2012-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：122-125