用不同靶材制备B-C-N薄膜及其红外表征

摘要：

采用射频磁控溅射方法, 分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶, 在氩气和氮气的氛围中, 沉积B-C-N薄膜. 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明: 在1 200～1 800 cm-1和1 000～1 750 cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2 200 cm-1处出现了 NC 键的特征吸收峰. 表明在沉积的薄膜中, C原子与N原子相结合. 分别溅射C和h-BN靶, 红外光谱分析表明, B-C键在1 100 cm-1处未产生吸收峰, 即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离, 利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.

关键词：B-C-N薄膜、N2流量、傅里叶变换红外光谱、射频磁控溅射

所属期刊栏目：48

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：科技部973计划前期研究专项基金2008CB617614;高等学校科技创新工程重大项目基金707015

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1027-1030