用RF磁控溅射法制备锂氮共掺p型氧化锌

摘要：

采用RF磁控溅射技术, 以掺杂氮化锂的氧化锌陶瓷为靶材, 用不同物质的量比的高纯氩气和氧气混合气体为溅射气体, 在石英衬底上生长锂氮共掺氧化锌薄膜, 并在600 ℃真空热退火30 min, 研究生长气氛对锂氮共掺氧化锌导电类型、晶体结构与低温光致发光的影响规律和机制. 结果表明, 当以n(氩气) : n(氧气)=60的混合气体为溅射气体时, 可得到稳定的p型锂氮共掺氧化锌薄膜. X射线衍射谱表明, 样品具有高度的c轴择优取向. 由变温光致发光分析可知, 该薄膜的p型导电来源于LiZn受主缺陷, 其光学受主能级位于价带顶131.6 meV处.

关键词：RF磁控溅射、锂氮共掺、氧化锌、半导体

所属期刊栏目：48

分类号：O493

资助基金：国家自然科学基金60776011

在线出版日期：2010-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：667-671