退火温度对ZnO/SiO2 复合薄膜结构及光学性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃衬底上制备ZnO/SiO2(ZSO)复合薄膜, 并采用扫描电子显微镜(SEM)、 X射线衍射(XRD)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光(PL)谱对样品的形貌、晶体结构、透过率及光致发光性能进行表征. SEM结果表明, 样品为双层结构, 随着退火温度的升高, 颗粒变大, 并产生团聚现象; XRD结果表明, 样品经退火处理后生成六方纤锌矿型ZnO, 衍射峰强度和晶粒尺寸随退火温度的升高而增大; UV-Vis结果表明, 样品同时具有ZnO和SiO2特征吸收边, 双层复合薄膜中ZnO和SiO2两种不同材料的能带不连续导致360 nm附近的曲线不平滑, 并使能带蓝移, 经400 ℃退火处理后的样品透过率较高; PL谱结果表明, 在355 nm波长激发下, 样品分别在紫外区和蓝光区域产生发射峰, 随着退火温度的升高, 样品内缺陷密度减小, 由缺陷引起的发光强度减弱.

关键词：复合薄膜、溶胶-凝胶、结构、光学性能

所属期刊栏目：48

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：吉林省教育厅科技发展计划项目基金2008-26

在线出版日期：2010-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：478-481