MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应

摘要：

从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动力学方程,给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.

关键词：空气压膜阻尼效应、微机械光电系统、雷诺方程、倾斜下电极、响应时间

所属期刊栏目：43

分类号：TN256;TN205(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA312020;吉林省科技发展计划20010319;教育部跨世纪优秀人才培养计划

在线出版日期：2005-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：343-347