N离子注入非晶碳膜的CN成键研究

摘要：

利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况.结果表明,被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合,形成sp3 C--N,sp2 C--N 和C≡N键.随着N离子注入剂量的增加,膜内sp3 C--N键的含量相对增多,表明N离子注入更有利于sp3 C--N键的形成.

关键词：N离子注入、非晶碳膜、磁控溅射、键合结构

所属期刊栏目：43

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划50372024

在线出版日期：2005-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：324-327