Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

摘要：

使用WVASE32型椭偏仪, 对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析; 并对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料进行测量, 根据测量结果对阵列波导光栅(AWG)器件进行设计. 在124 nm到1 700 nm之间可测量出任意波长的折射率, 其均方差(MSE)均远小于1, 证明测量结果极其准确. 同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

关键词：列阵波导光栅、聚合物、光学系数、椭偏仪

所属期刊栏目：43

分类号：O436(光学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA312160;国家重点基础研究发展计划973计划TG2000036602;国家自然科学基金60177022

在线出版日期：2005-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：185-189