硅基微结构气体传感器结构的有限元模拟分析

摘要：

利用金属铂的热阻、热敏特性, 以及SiO2和SiNx良好的绝热、绝缘特性, 设计一种以铂丝为加热层, 叉指状的金电极为敏感膜信号电极, SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微热板结构气敏元件. 并利用有限元分析工具ANSYS, 对所设计的硅基微结构气敏元件的加热器进行了稳态过程和瞬态过程的模拟和分析, 得到了元件表面的稳态热场分布和瞬态响应的分析结果.

关键词：微加热器、有限元分析、稳态、瞬态、温度场、响应时间

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60104006

在线出版日期：2003-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：510-512