高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性

摘要：

在不同温度下(200～ 800 ℃) 将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验. 利用Raman和XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化. 结果表明, 类金刚石膜是由少量的sp2 C键和大量的sp3 C键组成的非晶态碳膜. 在退火温度小于600 ℃范围内, 类金刚石膜的热稳定性较好; 退火温度高于600 ℃时, 类金刚石膜中的sp3 C键逐渐向sp2 C键转变, 当退火温度升到800 ℃时, 类金刚石膜中sp3 C键含量由退火前的大约70%下降到40 %. 可见, 高温退火能导致类金刚石膜的石墨化趋势.

关键词：准分子激光沉积、类金刚石膜、热稳定性、退火温度

所属期刊栏目：41

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2003-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：497-500