TiO2/Cu超晶格结构表征

摘要：

用磁控溅射方法制备TiO2/Cu超晶格. 通过X射线衍射和电镜手段对其进行测试, 利用X射线傅氏线形分析法对超晶格的微观参数进行表征, 通过TEM对超晶格的截面形貌进行观察, 发现其具有柱状生长结构.

关键词：薄膜、超晶格、线形分析

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：73-75