迈克尔逊干涉微小尺度测量系统的研究

摘要：

设计了一款能够进行微小尺度测量的系统。该系统是在迈克尔逊干涉仪的基础上,对其加以改装,使其能够将待测物的微小尺度转化为可移动全反镜的改变量。利用光电池将光信号转化为电信号,并通过信号采集,由单片机进行数据处理并将测量结果用液晶显示。对标准塞尺的测量结果显示,该系统具有精确度高、操作简便、测量迅速等优点。

关键词：迈克尔逊干涉仪、微小尺度测量、条纹计数、单片机

所属期刊栏目：40

分类号：O433;TP216(光学)

在线出版日期：2012-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：41-43