飞秒脉冲激光沉积法的动力学过程实验研究

摘要：

用钛宝石飞秒激光器将最大峰值功率密度为1.14×1013w/cm2的激光作用在Bi14Ti3O12陶瓷靶、Cu靶、FeSi2合金靶上,研究产生等离子体羽的颜色和形状一般规律:内芯均为白色对应于高温高压等离子体;紧跟内芯的是等离子体的复合形成中性粒子的区域;颜色单一的外层是温度较低的中性粒子和低温等离子体区.飞秒脉冲激光产生的等离子体呈cos4θ的角分布.在准分子脉冲激光沉积下衬底温度为500℃时β-FeSi2薄膜的生长模式是Volmer-Weber模式,村底温度为550℃时β-FeSi2薄膜的生长是stranski-Krastanov模式.实验发现飞秒激光沉积技术能解决传统PLD法中产生大尺寸微滴的缺陷.

关键词：飞秒、脉冲激光沉积、薄膜、β-FeSi2

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分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10604018;教育部高等学校博士学科点专项科研基金20060487006

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-36,62