β-FeSi2半导体薄膜的研究进展

摘要：

综述了半导体β-FeSi2薄膜的制备、薄膜的表征、能带的特点、电学、光学性质等方面的研究进展,讨论了几种用于Si衬底上外延生长β-FeSi2薄膜方法的优缺点,分析了制备高品质β-FeSi2薄膜所存在的理论和技术上的难题,展望了β-FeSi2薄膜作为新光电材料的应用前景.

关键词：β-FeSi2、半导体薄膜、Si基发光

所属期刊栏目：35

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金10604018;高等学校博士学科点专项科研项目20060487006

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29