用于精密检测的大孔径双远心光学系统设计

摘要：

为了满足光通信玻璃管内径检测对机器视觉提出的高精度要求,以及解决照明不均匀对检测精度的影响,本文在四组元结构设计理论基础上,通过像差平衡和优化设计,设计了一种具有同轴照明的大孔径高分辨率双远心光学系统.该系统由球面透镜及分光棱镜组成,放大倍率为6 ×,F数为8,物方数值孔径为0.3759,适配于6500万像素的大面阵工业相机.设计结果表明,系统的成像质量接近衍射极限,光学调制传递函数在奈奎斯特频率156 lp/mm处大于0.1,最大畸变小于0.1％,物像方远心度均小于0.1°,系统分辨率高达1 µm.

关键词：机器视觉、精密检测、同轴照明、大孔径、双远心

所属期刊栏目：54

分类号：TN206;TH74(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;厦门市科技计划项目

在线出版日期：2024-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1123-1129