红外探测器电极设计

摘要：

针对红外探测器芯片使用的电极体系展开了调研,虽然国内、外很多红外探测器生产厂商、科研院所都公布了各自的电极体系,但是对于电极的设计很少有人提及,对于电极体系中各层薄膜的厚度设计更是鲜见.本文通过对常用电极材料的物理特性分析,设计了 一种电极体系.验证试验结果表明这种电极体系未对器件性能造成影响,可以满足器件的可靠性要求.

关键词：IRFPA、电极材料、物理特性、厚度

所属期刊栏目：54

分类号：TN215;TN29(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2024-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1076-1080