大功率半导体激光器电极失效机理研究综述

摘要：

大功率半导体激光器具有体积小、重量轻、转换效率高等优势,在工业加工、军事国防、医疗美容等各个领域具有广泛的应用.然而,大功率半导体激光器仍然受到电极失效的影响,导致其可靠性下降,使用寿命变短.本文首先阐述了大功率半导体激光器电极的失效机理;其次,介绍了电极的制备与欧姆接触评估方法,以及电极的失效分析手段方法,最后归纳了欧姆接触工艺的改良方法.在本文研究过程当中,归纳总结了目前学者们对于欧姆接触不良研究的相关进展,对进一步解决电极失效,提高大功率半导体激光器的可靠性具有重要的意义.

关键词：半导体激光器、电极失效、欧姆接触

所属期刊栏目：53

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;长春市科技发展计划项目;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所科创计划项目

在线出版日期：2023-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：643-650