长波红外减反射膜及锥镜膜厚均匀性研究

摘要：

红外探测因全天候、作用距离远和抗干扰性好等优点而被广泛应用.本文提出在锥镜上制备8～12μm反射率小于0.5％的长波红外减反射膜,利用Essential Macleod软件,在ZnS基片上完成了长波红外减反射膜的膜系设计.采用物理气相沉积方法,选择n=4.3@10μm的Ge做基片和镀膜材料的粘结层,n=2.2@10μm的ZnS为高折射率材料,n=1.35@10μm的YF3为低折射率材料,完成了光学薄膜的制备.提出锥镜膜厚均匀性的补偿方法,通过使用修正后的补偿挡板,使10°锥镜薄膜厚度均匀性达到99％.利用Lamda1050光谱仪测试了锥镜的反射光谱曲线和薄膜厚度均匀性测试曲线,结果表明所研制的膜层在8～12μm处反射率均值为1.483％,对试验件开展了环境适应性测试,测试结果满足使用要求.

关键词：长波红外、锥镜、减反射膜、膜层均匀性

所属期刊栏目：53

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金Nos.11947060

在线出版日期：2023-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：570-573