CdZnTe衬底的退火改性技术研究

摘要：

针对高性能碲镉汞红外探测器对碲锌镉(CdZnTe)衬底质量需求的不断提升,采用高温-真空退火方式,对碲锌镉衬底进行退火改性研究.结果发现:碲锌镉衬底的红外透过率得到明显地改善,在红外波段(2.5～25 μm)均达到60％以上;晶片中的第二相夹杂得到极大地改善,可实现无大于1 μm的第二相夹杂,即可实现红外显微镜下夹杂不可见;Zn组分分布均匀性得到极大地改善,通过退火分压的调节,可实现衬底中Zn组分可调和Zn值的组分均匀分布,其中Zn组分可控制在0.044～0.051范围内,成分标准偏差可控制在0.001以下,衬底的组分可控和均匀分布为大面阵碲镉汞红外探测器的质量提升奠定了坚实的材料基础.

关键词：碲锌镉(CdZnTe)、退火技术、性能改进、第二相夹杂、Zn组分

所属期刊栏目：53

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：79-83