飞秒激光制备表面微纳结构数值模拟与实验研究

摘要：

微纳米尺度的表面结构在表面工程中有着许多特殊的性能和应用,为了研究飞秒激光制备不锈钢表面微纳结构的机理,基于经典双温模型理论对飞秒激光烧蚀304不锈钢的过程进行了数值模拟计算.经过计算得到了不同激光能量密度、不同烧蚀深度处电子与晶格系统温度的演化规律,确定了飞秒激光单脉冲作用下的烧蚀阈值,通过数值模拟得到飞秒激光烧蚀不锈钢只发生在材料的表面,对内部的材料影响很小.最后使用飞秒激光微纳加工系统在不锈钢表面制备了微纳结构,多边形微孔结构保持了高质量的边缘形貌,在孔的内壁出现了周期性结构.

关键词：飞秒激光、304不锈钢、数值模拟、激光烧蚀、表面微结构

所属期刊栏目：52

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：内蒙古自然科学联合基金项目No.2018LH05028

在线出版日期：2022-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：497-502