10μm小间距红外探测器的铟柱生长研究

摘要：

在10μm小间距的条件下进行红外探测器的铟柱生长工艺,会得到铟柱高度不足的结果;本文针对这种情况,开展了小间距的铟柱生长研究,比较了在不同基片温度和蒸发速率条件下的铟柱高度,并分析了试验结果,得到了最优的生长工艺条件.

关键词：红外探测器、铟柱、小间距

所属期刊栏目：50

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1218-1222