HgCdTe外延材料批量化生产及其质量控制

摘要：

经过多年研发,我司的碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器已达到批量生产的水平.优异性能的红外探测器离不开高质量的HgCdTe外延材料,外延材料的厚度及组分均匀性、表面缺陷的控制以及HgCdTe外延/CdZnTe衬底晶格匹配度是批量化生产中需要控制的关键性因素,红外探测器的批量化生产也给HgCdTe外延材料质量稳定性以及一致性的控制提出了更高的要求.本文介绍了HgCdTe外延材料批量化生产中这几项关键指标的控制,以及外延质量优化后红外焦平面性能的提升.

关键词：HgCdTe外延材料、批量化生产、质量控制、红外焦平面探测器

所属期刊栏目：50

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1099-1103