白光干涉垂直扫描测量算法综述

摘要：

白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术.根据白光干涉信号的相干长度短、相干峰非常明显的特性,采用了垂直扫描干涉测量的方式获取干涉信号.相干峰寻址法是在垂直扫描测量的基础上提出的,具有较高的计算精度和较大的适用性.本文将相干峰寻址法的11种算法分为直接求解法、包络曲线拟合法和加权平均法三类进行阐述,并通过仿真每种算法分析各种算法的优缺点以及适用性和局限性.

关键词：白光干涉测量、相干峰寻址法、垂直扫描干涉

所属期刊栏目：50

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2020-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：899-906