红外微型多谱段集成滤光片产品质量考核方法

摘要：

作为空间红外相机上的关键部件,微型集成滤光片得到越来越广泛的应用.由于制作工艺复杂,加上探测器内部工作条件极为苛刻,滤光片在使用中经常出现诸多问题.为了在地面阶段全面暴露滤光片质量缺陷并针对性解决这些问题,减少相机在轨工作风险,文章提出一套适用于空间红外相机的多谱段集成滤光片产品质量考核方法,涵盖产品外观检查、结构尺寸测试、面形检测、光谱性能测试、膜层质量检查,环境试验考核、力学试验考核等方面,旨在滤光片研制过程中能够全面、准确地考核集成滤光片产品质量,减少产品使用中的潜在风险.

关键词：多谱段滤光片、膜层质量、表面质量、光谱性能

所属期刊栏目：50

分类号：O484.5;TN219(固体物理学)

在线出版日期：2020-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：691-696