飞秒激光微孔加工发展综述

摘要：

随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛.由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势.本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索.总结了目前发展遇到的问题,未来的发展趋势并提出自己的观点.

关键词：飞秒激光、微孔加工、飞秒激光加工参数

所属期刊栏目：50

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：陕西省特种加工重点实验室开放基金项目;西安市未央区科技计划—产学研协同创新计划项目

在线出版日期：2020-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：651-657