飞秒激光烧蚀光斑图像的双边滤波增强及FCM分割

摘要：

飞秒激光烧蚀单晶硅材料过程中会伴随衍生等离子体发光,由CCD相机采集等离子体的光辐射信号可获得激光烧蚀光斑图像.针对光斑图像核心烧蚀区域易受光晕、烧蚀热过渡区域等因素影响问题,提出了烧蚀光斑图像的双边滤波增强结合模糊C均值聚类(FCM)分割策略,将光斑不同区域分割出来.首先,采用主成分分析(PCA)方法对光斑图像进行主成分提取,增强图像并去除噪声影响.其次,在PCA提取的第一主成分图像基础上,用双边滤波对光斑图像进一步增强处理,突出了光斑核心目标区域的层次.最后,采用模糊C-均值聚类(FCM)将光斑图像的各个区域精确的分割出来.通过与Canny算子结合高斯滤波的光斑图像分割效果对比表明,本文提出的光斑图像分割方法,对光斑核心区域、光斑细节及光斑层次分割方面具有优势.

关键词：飞秒激光、等离子体光斑、图像增强、双边滤波、FCM算法

所属期刊栏目：50

分类号：TP249;TP391.41(自动化技术及设备)

在线出版日期：2020-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：630-633