640×51215μm杜瓦真空失效的极限真空度研究

摘要：

真空微型杜瓦内部需要高真空度来降低杜瓦与外界的热交换,保持探测器芯片低温工作温度稳定.不同杜瓦失效的真空度有一定的区别,本文通过对640×51215μm及320×256这两种杜瓦组件进行不同真空度下的静态热负载测试,确定以上两种杜瓦结构的真空失效时的极限真空度.通过对比分析杜瓦组件的真空失效机理及实验数据,提出改进该结构杜瓦真空寿命的措施.

关键词：真空失效、杜瓦、静态热负载

所属期刊栏目：49

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1442-1446