飞秒激光光斑轮廓的傅里叶描述子重建及特征提取

摘要：

在利用飞秒激光对单晶硅材料进行微尺度烧蚀时,衍生的等离子体发光光斑中蕴含着大量的加工信息.如何有效提取光斑图像的几何特征信息,对研究飞秒激光烧蚀加工工艺过程具有重要意义.轮廓特征是描述激光光斑最重要的特征之一,本文着重分析了等离子体光斑轮廓特征与光斑运动规律间的关系及光斑运动情况分类方法.首先,考虑到光斑微弱的特性,对光斑图像进行增强处理.其次,采用链码方法提取光斑轮廓特征,并利用傅里叶描述子低频特性,选取少量的描述子重建光斑图像轮廓特征,减少了复杂的计算量,有效提高了光斑图像分类的速度与质量.最后,运用Hu不变矩特征证明傅里叶描述子用于提取激光光斑对轮廓特征的有效性.

关键词：飞秒激光、傅里叶描述子、轮廓特征、Hu不变矩特征

所属期刊栏目：49

分类号：TP391.41(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金项目71601039

在线出版日期：2019-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1147-1152